D007IH工艺技术自2011年规模商用,是一款70nm的mHEMT工艺;OMMIC采用该工艺制备频率从20GHz到160GHz的超低噪声放大器产品。
D007IH工艺技术的产品噪声系数极低,可达2.8dB(典型值)@90GHz!适用于通信、卫星通讯、被动成像等领域。
D007IH工艺射频/直流特性
l业界领先的70nm双mushroom结构栅极;
l高掺铟沟道(掺铟浓度达70%!);
l截止频率:Ft=300GHz;
l最高频率:Fmax=450GHz;
l极低噪声系数:NFmin=0.5dB@30GHz;
l增益:12.5dB@30GHz;
l全局钝化处理
——外延电阻;
——镍铬电阻;
——MIM电容(400pf/mm2和49pf/mm2);
——螺旋电感;
——空气桥;
——通孔;
——微凸台;
——全局钝化芯片:覆盖150nm氮化硅;
——封装级产品:全局150nm氮化硅钝化层(标准)或300nm(可选)氮化硅钝化层;
——芯片标准厚度100μm(如果有特殊要求,70μm厚度可选);
——厚金属层可选,用于优化芯片噪声性能。